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Roboter aus Dresden bekommen mehr zu tun

Das Dresdner Unternehmen Fabmatics bringt Greifer und autonome Rollwagen in die Mikrochipfabriken. Warum sich jetzt neue Kunden finden.

Der Roboterarm schwenkt einen Behälter mit teuren Siliziumscheiben ins leere Wandregal – und findet ihn dort auch wieder. Dresdner bauen diese Technik vor allem für Mikrochipfabriken.
Der Roboterarm schwenkt einen Behälter mit teuren Siliziumscheiben ins leere Wandregal – und findet ihn dort auch wieder. Dresdner bauen diese Technik vor allem für Mikrochipfabriken. © Fabmatics/Sven Rahm

Dresden. Autonomes Fahren ohne Zusammenstöße – im Straßenverkehr funktioniert das noch nicht, aber in Fabriken. Das Dresdner Unternehmen Fabmatics GmbH liefert die Fahrzeuge und andere Roboter dafür. Die 200 Beschäftigten des Unternehmens nahe dem Flughafen Dresden leben vom Trend zur Automatisierung. Zum 30-jährigen Firmenjubiläum stellen die Geschäftsführer Roland Giesen und Andreas Purath fest, dass sie zunehmend Aufträge aus Asien und den USA bekommen. In den Dresdner Mikrochipfabriken haben sie schon viel Robotertechnik installiert.

Die beiden Firmenchefs haben Doktortitel in Chemie, doch beide sammelten Erfahrung im Anlagenbau und bei Infineon. Sie kennen die Abläufe in den Chipfabriken: Siliziumscheiben werden zu verschiedenen Anlagen transportiert, dort beschichtet, belichtet und geätzt. Den Transport können Arbeiter mit Wägelchen und Laufkarten übernehmen. Doch seit Jahren ersetzen zunehmend die Robotermodelle Hero und Scout aus dem Hause Fabmatics menschliche Arbeitskräfte.

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Zwischen Science-Fiction-Film und Mähroboter

Geschäftsführer Giesen sagt dennoch, seine Maschinen machten Menschen nicht überflüssig. Die Roboter übernähmen einfache Tätigkeiten, etwa Heben und Einsortieren. Giesen erinnert daran, dass zunehmend auch Mähroboter und autonome Staubsauger in Gärten und Wohnungen unterwegs sind. Die Fabmatics-Technik arbeitet allerdings in der Regel völlig staubfrei und wird im Reinraum montiert.

Natürlich haben die Chefs der Dresdner Roboterfabrik schon Science-Fiction-Filme gesehen, in denen die Technik die Weltherrschaft übernehmen will. Doch Purath sieht seine Maschinen als Helfer, die Menschen entlasten. Er rechne nicht damit, dass die Roboter selbst die Entwicklung vorantreiben und irgendwann die Entscheidung treffen, der Mensch sei überflüssig. Präziser als der Mensch kann die Maschine allerdings arbeiten.

In einem engen Regallager stellen Greifarme das Material auf den vorbestimmten Platz und finden es dort jederzeit wieder. Die Roboter stolpern nicht und machen keine Fehler bei der Übergabe. Giesen sagt, die Chipfabrikanten hätten es zunehmend schwer, Mitarbeiter für die Nachtschichten zu gewinnen.

Transport im Reinraum: In den Mikrochipfabriken tragen die Angestellten immer schon Haube und Maske, der Fabmatics-Roboter wird im Reinraum montiert - er soll staubfrei sein.
Transport im Reinraum: In den Mikrochipfabriken tragen die Angestellten immer schon Haube und Maske, der Fabmatics-Roboter wird im Reinraum montiert - er soll staubfrei sein. © Fabmatics

Nachrüstung für ältere Fabriken in den USA

Manche der Fabmatics-Roboter fahren auf Schienen, etwa zur Bestückung der Anlagen bei Infineon Dresden. Die jüngste Generation hat statt Stromkabeln Akkus verpasst bekommen, und auch mit anderen Neuerungen wartet Fabmatics im Jubiläumsjahr auf: Da ist das neue Lagersystem Cubestocker, das eine große Zahl Boxen mit Siliziumscheiben per Greifer-Arm sortiert. Das neue Test Wafer Center kann viele verschiedene Scheiben zum Testen auseinanderhalten und zwischenlagern.

Außerdem bietet der Dresdner Sondermaschinenbauer eine Stickstoffspülung für die Zwischenlager an. Denn halb fertige Mikrochipstrukturen auf Siliziumscheiben könnten sonst durch Kristallisation oder chemische Reaktionen Schaden nehmen.

Fabmatics macht einen großen Teil seines Geschäfts mit der Nachrüstung älterer Chipfabriken, die noch mit 200-Millimeter-Scheiben arbeiten. Rund 200 solcher Fabriken gibt es auf der Welt, davon viele in den USA. Dort hat Fabmatics eine Tochterfirma. Doch selbst der größte Chip-Auftragsfertiger der Welt, TSMC in Taiwan, gehört zu den Kunden der Dresdner.

Roland Giesen (links) und Andreas Purath (rechts) leiten Fabmatics im Dresdner Norden, nahe dem Flughafen. Der langjährige Geschäftsführer Heinz Martin Esser (Mitte) ist in den Ruhestand gegangen, aber noch Chef des Verbandes Silicon Saxony.
Roland Giesen (links) und Andreas Purath (rechts) leiten Fabmatics im Dresdner Norden, nahe dem Flughafen. Der langjährige Geschäftsführer Heinz Martin Esser (Mitte) ist in den Ruhestand gegangen, aber noch Chef des Verbandes Silicon Saxony. © Fabmatics

Dresdner Techniker in Quarantäne in Taiwan

Die Arbeit auf anderen Kontinenten ist durch Corona freilich erschwert. Wenn Dresdner Servicetechniker nach Taiwan reisen, müssen sie zwei Wochen Quarantäne im Hotel verbringen. Dennoch seien die Monteure motiviert – und willkommen, berichtet Giesen. Vertriebsleute dagegen würden vielerorts nicht mehr in die Betriebe gelassen und könnten nur Online-Meetings abhalten.

Weil sich Projekte im Corona-Jahr 2020 verzögerten, hat der Fabmatics-Umsatz nicht den Vorjahreswert von 25,8 Millionen Euro erreicht. Doch die Belegschaft ist in den vergangenen fünf Jahren um rund 40 Personen gewachsen, und Fabmatics hat noch Stellen frei: in Engineering, Produktion, Vertrieb und Service.

Das Unternehmen profitiert von den Dresdner Hochschulen und hat von allen Dresdner Chipfabriken schon Aufträge erledigt, auch für den Bosch-Neubau. Engen Kontakt halten die Chefs zu den drei Nachbar-Unternehmen AIS, Systema und Xenon Automatisierungstechnik. Vor allem die Software-Entwicklung werde immer wichtiger, sagt Giesen: Rund 30 der Angestellten sind Software-Experten. Schließlich will Fabmatics mit den Kunden die Technik von der Planung bis zur Umsetzung entwickeln.

Nächstes Ziel: Medizinprodukte und Pharmabranche

Nicht jedes Teil stellen die Dresdner allerdings selbst her. Roboterarme zwischen Greifer und Wagen kommen von mehreren Lieferanten – etwa vom Schweizer Hersteller Stäubli in Pfäffikon.

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Im September wollen Purath und Giesen das Firmenjubiläum möglichst mit Mitarbeitern und Partnern nachfeiern. Bis dahin wollen sie noch neue Kunden finden: Mikrochipfabriken sind voll ausgelastet und verlangen mehr Automatisierung, haben derzeit aber nicht viel Zeit für Umbauarbeiten. Fabmatics liefert aber auch an große Optik-Hersteller in Jena und Siliziumlieferanten in Freiberg. Künftig sollen auch Hersteller von Medizinprodukten und Arznei die Roboter aus Dresden nutzen – Keimfreiheit beherrschen sie.

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