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Stromausfall schädigt Technik in Dresdner Chipfabriken

Bei Infineon, Bosch und X-Fab sind Maschinen ausgefallen. Ein Reinraum lässt sich nach Stromausfällen nicht gleich wieder nutzen. Das wird teuer.

Manche Siliziumscheiben sind so teuer wie ein Auto - weil darauf Hunderte oder Tausende gleichartige Chips nebeneinander produziert werden. Ein Stromausfall kann sie unbrauchbar machen.
Manche Siliziumscheiben sind so teuer wie ein Auto - weil darauf Hunderte oder Tausende gleichartige Chips nebeneinander produziert werden. Ein Stromausfall kann sie unbrauchbar machen. © Archivfoto: Peter Kneffel/dpa

Dresden. Der Blackout vom Montag kann zu Millionenschäden in den Dresdner Halbleiterwerken führen. Die Infineon-Chipfabrik mit 2.900 Beschäftigen kam durch den Stromausfall zum Stillstand. "Ganz sicher sind Sachen kaputtgegangen", sagte Sprecher Christoph Schumacher auf Nachfrage von sächsische.de.

Erst im Februar hatte ein Stromausfall im texanischen Infineon-Werk in Austin zu Schäden in Höhe eines mittleren zweistelligen Millionenbetrags geführt, also mindestens 30 Millionen Euro.

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Laut Schumacher traf der Ausfall Infineon Dresden "zur Unzeit". Chipfabriken überall auf der Welt sind derzeit voll ausgelastet und können die gestiegene Nachfrage nicht befriedigen. Daher mussten schon Autofabriken Zwangspausen einlegen, auch in Sachsen. Nun droht erneut Nachschubmangel. Infineon Dresden stellt mehr als 400 verschiedene Produkte für alle vier Sparten des Konzerns her - darunter Radarsensoren, Leistungshalbleiter und Mikrocontroller für Autos, Komponenten für Windkraftanlagen und für Ladeanlagen für Elektroautos.

Zwar kann der Dieselgenerator bei Infineon im Dresdner Norden "kleinere Schwankungen" in der Stromversorgung ausgleichen. Das Notstromaggregat sprang an, doch es versorgt nicht die gesamten Produktionsanlagen, sondern laut Schumacher nur "die sicherheitskritischen Systeme". Maschinen hielten also an, der Nachschub mit Material stockte, Gase wurden nicht weitergepumpt. Auch die Luftversorgung im Reinraum fiel aus.

Infineon muss nun Anlagen auf Verschmutzung prüfen

Normalerweise sorgt gleichmäßiges Absaugen und Belüften durch Filter dafür, dass keine Schmutzpartikel die winzigen Strukturen auf den Siliziumscheiben beschädigen. Mikrochips entstehen in Hunderten Arbeitsschritten, bei denen die Scheiben immer wieder beschichtet, belichtet und geätzt werden. Solche Abläufe dürfen nicht im falschen Moment unterbrochen werden.

Wenn die Reinraumluftversorgung ausfällt, gilt die Fertigungsstätte sofort als "kontaminiert". Nach Angaben des Infineon-Sprechers müssen die Anlagen auf Verschmutzung geprüft werden. "Glücklicherweise sind die Ferien vorbei", sagte Schumacher. Seine Kollegen in der Produktion hätten nun viel zu tun: Lose auf Beschädigungen prüfen, Anlagen kontrollieren. In Texas dauerte es von Februar bis Juni, bis das volle Produktionsniveau wieder erreicht war.

In der drittgrößten Dresdner Mikrochipfabrik mit 470 Beschäftigten wird ebenfalls traditionell ein hoher Anteil für die Autobranche produziert: bei X-Fab, der ehemaligen Fabrik von ZMD Zentrum Mikroelektronik Dresden. X-Fab-Sprecherin Uta Steinbrecher am Konzernsitz Erfurt sagte, der Totalausfall des Stroms habe ungewöhnlich lange gedauert.

Doch schon am Montag sei begonnen worden, die Produktion bei X-Fab Dresden wieder hochzufahren. Sie laufe aber noch nicht wieder auf vollem Niveau. Es sei noch zu früh, die Höhe des Schadens zu beziffern. Zuverlässige Stromversorgung sei essenziell für Halbleiter-Unternehmen, betonte Steinbrecher.

Globalfoundries will unabhängig vom Netz werden

Auch in der neuen Bosch-Fabrik, die erst seit diesem Jahr mit zunächst 250 Beschäftigten in Dresden Mikrochips produziert, blieben am Montag die Produktionsanlagen stehen. Sprecherin Julia Reimann teilte allerdings mit, dass die Anlagen "ab dem späten Nachmittag kontrolliert wieder hochgefahren werden konnten". Die Schäden würden derzeit noch analysiert. Dank Notstromversorgung seien die allerwichtigsten Gebäude- und Sicherheitsfunktionen im Bosch-Werk Dresden aufrechterhalten worden.

Dresdens größte Chipfabrik Globalfoundries ist nach eigenen Angaben "weitgehend vor solchen Ereignissen im öffentlichen Netz geschützt". Zum Standort mit 3.300 Beschäftigten gehören zwei eigene Energieversorgungszentren. Sie decken jedoch nicht 100 Prozent der Produktion ab. Daher habe es "einige begrenzte Auswirkungen" gegeben, teilte Globalfoundries mit, ohne auf Details einzugehen.

Der Konzern äußert sich nicht gerne zu seiner Energieversorgung. Beim Bundeskartellamt hat Globalfoundries im August einen Antrag zur Genehmigung seiner Pachtverträge mit der Sachsen-Energie-Tochter Drewag gestellt. Laut Register über "laufende Fusionskontrollverfahren" geht es dabei um die beiden Energieversorgungscenter Nord und Süd. Das Unternehmen wollte zu dem Vorhaben auf Nachfrage keine Angaben machen. Sprecher Jens Drews teilte jedoch am Mittwochnachmittag mit: "Der Vorfall am Montag hat uns in unseren Anstrengungen bestärkt, in den nächsten fünf Jahren völlig unabhängig vom öffentlichen Netz zu werden."

Infineon hilft bei neuer Technologie in Österreich

Die Schäden durch den Stromausfall dürften nun zum Fall für die Industrieversicherungen werden. Bei Infineon kümmert sich darum die Zentrale in München. Dabei sind der Konzern und ein Teil der Dresdner Beschäftigten gerade mit den Vorbereitungen für eine Eröffnung in Österreich beschäftigt. In Zusammenarbeit mit Infineon Dresden ist in Villach ein neuer Fabrikteil gebaut worden, der Leistungselektronik auf sehr dünnen Scheiben mit 300 Millimeter Durchmesser produziert.

Leistungshalbleiter sind Chips, die schnelles Schalten und hohe Spannungen aushalten. Sie stecken zum Beispiel in Rechenzentren, und dort, wo starke Energieströme umgewandelt werden. In Dresden werden sie im Reinraum der ehemaligen Infineon-Tochter Qimonda hergestellt, der nach der Qimonda-Insolvenz von Infineon weiter betrieben wurde. Laut Schumacher war es "die Pionierleistung der Dresdner", diese Art der Produktion von Leistungshalbleitern "ins Hochvolumen zu bringen". Die beiden Fabriken in Villach und Dresden sollen eng zusammenarbeiten, die Prozesstechnik weiterentwickeln und künftig "wie eine einzige virtuelle Fabrik" funktionieren.

Staatshilfe für neue Mikrochipfabriken

In den neuen Fabrikteil in Villach investiert Infineon 1,6 Milliarden Euro, darin sind Zuschüsse vom österreichischen Staat enthalten. Dort entstehen 400 zusätzliche Arbeitsplätze, die zu zwei Dritteln schon besetzt sind. Zur Eröffnung an diesem Freitag wird Österreichs Bundeskanzler Sebastian Kurz erwartet.

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