Mit dem Deutschen Zukunftspreis des Bundespräsidenten wird in diesem Jahr eine Fertigungstechnik für leistungsfähige Mikrochips gewürdigt. Staatsoberhaupt Frank-Walter Steinmeier verlieh die mit 250 000 Euro dotierte Auszeichnung für Technik und Innovation am Mittwochabend in Berlin an ein Entwicklerteam der Unternehmen Zeiss (Oberkochen), Trumpf (Ditzingen) und dem Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF (Jena) für ihr Projekt „EUV-Lithografie – Neues Licht für das digitale Zeitalter“.

Gewinner Peter Kürz von der Zeiss-Halbleitersparte und seine Mitstreiter Michael Kösters (Trumpf) und Sergiy Yulin haben einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung und industriellen Serienreife der EUV-Technologie geleistet, mit der sich mikroelektronische Bauteile mit äußerst feinen Strukturen fertigen lassen. Zu finden sind die Mikrochips laut Kürz etwa in neuesten Smartphones. EUV steht für „extrem ultraviolett“, also Licht mit extrem kurzer Wellenlänge. Mit der Technologie können nach Angaben der Preisträger in diesem und im nächsten Jahrzehnt weitaus leistungsfähigere, energieeffizientere und kostengünstigere Mikrochips als jemals zuvor hergestellt werden.

3.300 Arbeitsplätze geschaffen

Diese seien Grundlage für die Digitalisierung des Alltags und Anwendungen rund um autonomes Fahren, 5G und Künstliche Intelligenz. Sie erforderten eine stark steigende Rechenleistung. Schon heute hätte ein Smartphone die millionenfache Rechenpower des Computers, der 1969 die erste Mondlandung begleitete, heißt es in der Mitteilung von Trumpf. Und ermöglicht werde dies durch einen kaum kaum fingerkuppengroßen Mikrochip, auf dem sich mehr als fünfzehn Milliarden Transistoren befinden. Das Fertigungsverfahren für die neuesten Chip-Generationen fuße auf der Nutzung von EUV-Licht, heißt es.

Diese mit 2000 Patenten abgesicherte Zukunftstechnologie hilft nicht nur den Halbleiterproduzenten, sie bringt auch den Entwicklern große wirtschaftliche Erfolge. Dank EUV wurden bei Zeiss und Trumpf nach eigenen Angaben bis heute mehr als 3300 Arbeitsplätze geschaffen und 2019 ein Jahresumsatz von mehr als einer Milliarde Euro erwirtschaftet – Tendenz steigend.

Zu Trumpf gehört die Trumpf Sachsen GmbH in Neukirch in der Lausitz. Zeiss übernahm im vergangenen Jahr die Saxonia Systems AG aus Dresden. Beide Unternehmen wollen das Preisgeld für gemeinnützige Zwecke spenden. (SZ/nm)